METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: 光相位调制的微变形镜相关资料
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:28:22 星期一), 站内信件



[1] R. T. Howe, R. S. Muller, K. J. Gabriel, W. S. N. Trimmer, "Silicon Mic
romechanics:
Sensors and Actuators on a Chip," IEEE Spectrum, 29-35 (1991).
[2] K. J. Gabriel, "EngineeringMicroscopic Machines," Scientific American 26
0 (9),118-
121 (1995).
[3] H. Fujita, "Recent Progress in Micromachining and Applications to Microa
ctuators,"
Jpn. J. Appl. Phys. 33, part 1, no. 12B, 7163-7166 (1994).
[4] K. E. Petersen, "Micromechanical light modulator array fabricated on sil
icon," Appl.
Phys. Let. 31 (8), p. 521 (1977).
[5] J. M. Younse, "Mirrors on a chip," IEEE Spectrum, p. 27, November (1993)
.
[6] A. Aratani,P. J. French, P. M. Sarro, D. Poenar, R. F.Wolrenbuttel, S. M
iddelhoek,
"Surface micromachined tunable interferometer array," Sensors and Actuators 
A 43,
17-23 (1994).
[7] A. Aratani, P. J. French, P. M. Sarro, D. Poenar, R. F. Wolrenbuttel, S.
 Middelhoek,
"Process and design considerations for surface micromachined beams for a tun
able
interferometer array in silicon," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical System
s
(MEMS 93), Fort Lauderdale, Florida, Feb. 7-10 (1993), 230-235.
[8] J. H. Jerman, D. J. Clift, S. R. Mallinson, "A Miniature Fabry-Perot Int
erferometer
with a Corrugated Diaphragm Support," Sensors and Actuators A-29 (2) 151-158

(1991).
[9] M. C. Larson, B. Pezeshiki, J. S.Harris, Jr., "Vertical Coupled-Cavity M
icro Interferometer
on GaAs with Deformable-Membrane Top Mirror," IEEE Photo. Tech. Lett.
7 (4), 382-384 (1995).
[10] Y. Uenishi, M. Tsugai, M. Mehregany, "Hybrid-integrated laser-diode mic
ro-external
mirror fabricated by (110) silicon micromachining," Electron. Lett. 31 (12),
 965-966
(1995).
[11] Y. Uenishi, M. Tsugai, M. Mehregany, "Micro-opto-mechanical devices fab
ricated by
anisotropic etching of (110) silicon," J. Micromech. Microeng. 5, 305-312 (1
995).
[12] Y.Uenishi, K.Honma,S.Nagaoka, "Tunable laserdiode usinganickel micromac
hined
external mirror," Electron. Lett., 32 (13), 1207-1208 (1996).
[13] K. Hjort, J. S"oderkvist, J-A,Schweiz, "Gallium arsenide as a mechanica
l material,"
J. Micromech. Microeng. 4, 1-13 (1994).
[14] J. Miao, K. Hjort, H.-L. Hartnagel. J.-A. Schweits, D. Ruck, K. Tischer
t, "Resonant
sensors on thin semi-insulating GaAs membranes," Tech. Digest 8th Int. Conf.
 on
Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS 95), Stockholm, Sweden, Jun.
25-29 (1995), vol. 2, 604-607.
[15] K. Hjort, J.-A. Schweits, B. Hok, IEEE MEMS '90, p. 73 (1990).
75
[16] Z. L. Zhang, G. A. Porkoab, N. C. MacDonald, IEEE MEMS '92, 72 (1992).
[17] Y. Uenishi, H. Tanaka, H. Ukita, "Monolithic integration of microbeam r
esonators
and laser diodes using AlGaAs/GaAs micromachining," MICRO SYSTEM Technologie
s
90, (ed. H. Reichl), VDE-Verlag, pp. 313-322 (1990).
[18] Y. Uenishi, H. Tanaka, H. Ukita, "Characterization of AlGaAs Microstruc
ture Fabricated
by AlGaAs/GaAs Micromachining," IEEE Trans. Electron Device 41 (10),
1778-1783 (1994).
[19] K. Iga et al., IEEE Quantum Electron., QE-23, 1845 (1988).
[20] J. L. Jewell, J. P. Harbison, A. Scherer, Y. H. Lee, L. T. Florez, "Ver
tical-cavity
surface-emitting lasers: Design, growth, fabrication, characterization," IEE
E J.
Quantum Electron. 27, 1332-1346 (1991).
[21] M. C. Larson, J. S. Harris, Jr., "Broadly-Tunable Resonant-Cavity Light
-Emitting
Diode," IEEE Photo. Tech. Lett. 7 (11), 1267-1269 (1995).
[22] M. C. Larson, A. R. Massengale, J.S. Harris, " Continuously tunable mic
romachined
vertical cavity surface emitting laser with 18 nm wavelength range," IEEE El
ec. Lett.
32, 330 (1996).
[23] J. S. Harris, Jr., M. C. Larson, A. R. Massengale, "Broad-Range Continu
ous Wavelength
Tuning in Microelectromechanical Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers,"
Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings, Keystone, Colorado, Aug. 5-9
(1996), 31-32.
[24] E. Yamamoto, S. Hashimoto, M. Ito, I. Komazaki, K. Yanagisawa, "Optical
 Tactile
Sensor UsingSurface-Emitting Laser," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Sys
tems
(MEMS 95), Amsterdam, the Netherlands, Jan. 29-Feb. 2 (1995), 227-231.
[25] M. Ito, E. Yamamoto, S.H ashimoto, I. Komazaki, H. Miyajima, S. Shinoha
ra,
K. Yanagisawa, "Compound-Cavity Micro-Interferometer using VCSEL and Piezoel
ectric
Actuator," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings, Keystone,
Colorado, Aug. 5-9 (1996), 51-52.
[26] M. S. Wu, E. C. Vail, G. S. Li, W. Yuen, C.J.Chang-Hasnain, "Widely and
 Continuously
Tunable Micromachined ResonantCavity Detectorwith Wavelength Tracking,"
IEEE Photon. Tech. Lett. 8 (1), 98-100 (1996).
[27] C. J. Chang-Hasnain. E. C. Vail, M. S. Wu, "Widely-Tunable Micro-Mechan
ical Vertical
Cavity Lasers and Detectors," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings,

Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 43-44.
[28] G.S.Li, W.Yuen, C.J.Chang-Hasnain, "A wide and continuously tunable (30
 nm)
detector with uniform characteristics over tuning range," 1997 55th Annual D
evice
Research Conference Digest,Fort Collins, CO,USA,23-25 June 1997, p.110-11, p
.175.
[29] J. A. Walker, K. W. Goossen and S. C. Arney, "Fabrication of a Mechanic
al Anti-
Reflection Switch forFiber-to-the-Home Applications," IEEE/ASME J. of Microe
lectromechanical
Syst. 5 (1), 45-51 (1996).
[30] K.W.Goossen, J.A.Walker,S.C.Arney,"SiliconModulatorBased on Mechanicall
y-
Active Anti-Reflection Layer with 1 Mbit/sec Capability for ibr-in-the-Loop 
Applications,"
IEEE Photon. Tech. Lett. 6 (9), 1119-1121, (1994).
[31] J. A. Walker, K. W. Goossen, P. P. Iannone, W. M. MacDonald, R. Ruel, R
. Boie,
S.C.Arney and N.J.Frigo,"3.5Mbit/sec.MARS ModulatorSystemPerformance for
Fiber-to-the-Home Applications," Solid-State Sensor and Actuator Workshop, H
ilton
Head Island, South Carolina, June 3-6 (1996), pp. 35-36.
[32] J. A. Walker, K. W. Goossen, S. C. Arney, "Mechanical Anti-Reflection S
witch
(MARS) Device for Fiber-in-the-Loop Applications," Digest IEEE/LEOS 1996 Sum
mer
Topical Meetings, Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 59-60.
[33] J. A. Walker, K. W. Goossen, S. C. Arney, N. J. Frigo, P. P. Iannone, "
A 1.5 Mb/s
operation of a MARS device for communications systems applications," IEEE J.

Light. Tech. 14 2382 (1996).
[34] O. Anthamatten, R. K. Battig, B. Valk, P. Vogel. C. Marxer, M. Gr'etill
at,
N. F. de Rooij, "Packaging of a reflective optical duplexer based on silicon
 micromechanics,"
Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings, Keystone, Colorado,
Aug. 5-9 (1996), 61-62.
[35] J. E. Ford, J. A. Walker, D. S. Greywall, K. W. Goossen, "Micromechanic
al Fiber-
Optic Attenuator with 3 鎠 Response," IEEE J. Light. Tech. Lett. 16, 1663 (1
998).
[36] J. E. Ford, J. A. Walker, M. C. Nuss, D. A. B. Miller, "32 channel WDM 
graphic
equalizer," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings, Keystone, CO, USA
,
Aug. 5-9 1996, p.26.
[37] J. E. Ford, J. A. Walker, K. W. Goossen, C. C. Chang, "Passband-Free Dy
namic
WDM Equalization" ECOC'98, Sept. 20-24, 1998, Madrid, Spain.
[38] J. E. Ford, V. A. Aksyuk,D.J.Bishop, J. A. Walker,"Wavelength Add-Drop 
Switching
Using Tilting Micromirrors," IEEE J. Light. Tech. Lett. 17, 904 (1999).
[39] C. Marxer, M.Gr'etillat, V. P. Jaecklin, R. Baettig, O. Anthamatten, P.
 Vogel and
N. F. de Rooij, "MHz Opto-Mechanical Modulator," The 8th Int. Conf. on Solid
-
State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS 95), Stockholm, Sweden, Jun. 25-29
(1995), vol. 1, 289-292.
[40] C. Marxer, M.-A. Gretillat, N. F. de Rooij, R. Battig, O. Anthamatten, 
B. Valk,
P. Vogel,"Reflective duplexer based on silicon micromechanics for fiber-opti
c communication,"
IEEE J. Light. Tech. 17, 115 (1999).
[41] W. R. Wiszniewski, R. E. Collins, B. A. Pailthorpe, "Mechanical light m
odulator
fabricated on a silicon chip using SIMOX technology," Sensors and Actuators 
A 43,
170-174 (1994).
[42] H. Toshiyoshi, M. Kobayashi, D. Miyauchi, H.Fujita, J. Podlecki, Y. Ara
kawa, "Design
and Analysis of Micromechanical Tunable Interferometer for WDM Free-Space
Optical Interconnection," IEEE J. Light. Tech. 17, 19 (1999).
[43] N. C. MacDonald, A. Jazairy, "Single crystal silicon: application to mi
cro-optoelectromechanical
devices," SPIE Micro-Optics/Micromechanics and Laser Scanning
and Shaping, vol. 2383, 125-135 (1995).
[44] V. P. Jaecklin, C. Linder, N. F. de Rooij, J.-M. Moret, R. Vuilleumier,
 "Lineaddressable
torsional micromirrors for lightmodulator arrays," Sensors andActuators
A 41-42, 324-329 (1994).
[45] Y.-A. Peter, H.-P. Herzig, E. Rochat, R. D"andliker, C. Marxer, N. F. d
e Rooij,
"Q-switched fiber laser using a torsional micro-mirror," Digest IEEE/LEOS 19
96
Summer Topical Meetings, Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 67-68.
[46] O. Solgaard, F. S. Sandejas, D. M. Bloom, "Deformable grating optical m
odulator,"
Optics Letters 17 (9), 688-690 (1992).
[47] D. E. Sene, J. W. Grantham, V. M. Bright, J. H. Comtois, "Development a
nd characterization
of micro-mechanical gratings for optical modulation," Proc. IEEE Micro
Electro Mechanical Systems (MEMS 96), San Diego, California, USA, Feb. 11-15

(1996), 222-227.
[48] R. B. Apte, F. S. C. Sandejas, W. C. Banyai and D. M. Bloom, "Deformabl
e Grating
Light Valves for High Resolution Displays," Solid-State Sensor and Actuator 
Workshop,
Hilton Head Island, South Carolina, June 13-16 (1994), 1-6.
[49] K. Hogari, T. Matsumoto, "Electrostatically Driven Fiber-Optic Micromec
hanical
On/Or Switch and Its Application toSubscriberTransmission Systems," IEEE Jou
rnal
of Light Wave Tech. 8 (5), 722-727 (1990).
[50] E. Hashimoto, Y. Uenishi, K. Honma, S. Nagaoka, "Micro-optical gate for
 fiber optic
communication," Proc. 1997 Int'l Conf. on Solid-State Sensors and Actuators 
(Transducers
97) Chicago, IL, USA, 16-19 June 1997. p.331-4 vol.1.
[51] C. R. Giles, V. Aksyuk, B. Barber, R. Ruel, L. Stulz, D. Bishop, "A sil
icon MEMS
optical switch attenuator and its use in lightwave subsystems," IEEE J. of S
elected
Topics in Quantum Electronics 5, 18-25 (1999).
[52] R. Jebens, W. Trimmer and J. Walker,"Microactuators for aligning optica
l fibers,"
Sensors and Actuators 20, 65-73 (1989).
[53] S. Nagasawa, H. Furukawa, T. Satake, N. Kashima, "New type of optical s
witch with
a plastic-molded ferrule," Trans. Inst. Electron. Inf. Commun. Eng. E70 (8),
 696-698
(1987).
[54] C. Gonzalez, S. D. Collins, "Micromachined 1xN Fiber-Optic Switch," IEE
E Photon.
Tech. Lett. 9, 616 (1997).
[55] C. Gonzalez, S. D. Collins, "Micro Joinery: Micromachined Translational
 Stages for
Optomechanical Devices and Systems," Proc. 1997 Int'l Conf. on Solid-State S
ensors
and Actuators (Transducers 97) Chicago, IL, USA, 16-19 June 1997.
[56] S. D. Collins, A. P. Wallace. R. L. Smith, J. M. Sirota, C. Gonzalez, "
Microphotonics
SystemsImplementation," Proc. 10th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Act
uators
(Transducers '99), Sendai, Japan.
[57] S. Nagaoka, "Micro-Magnetic Alloy Tubes for Switching and Splicing Sing
le-Mode
Fibers," Proc. 4th IEEE Workshop on Microelectro mechanical Systems (MEMS 91
),
Nara, Japan, Jan. 30-Feb. 2 (1991), 86-91.
[58] S. Nagaoka, "Optomechanical Switches for Fiber-Optic Communication Syst
ems,"
Proc. SPIE Int. Conf. on Optical Fabrication and Testing, vol. 2576, 383-394
, (1995).
[59] S. Nagaoka, "Compact Latching-Type Single-Mode-Fiber Switches Fabricate
d by a
Fiber-MicromachiningTechnique and Their Practical Applications," IEEE J. Sel
ected
Topics in Quantum Electronics 5, 26 (1999).
[60] L. A. Field, D. L. Burriesci, P. R. Robrish, R.C. Ruby, "Micromachined 
1x2 optical-
fiber switch," Sensors and Actuators A 53, 311-315 (1996).
[61] Hara, Hane,Kohl, "Si Micromechanical Fiber-Optic Switchwith Shape Memor
y Alloy
Microactuator," Transducers '99, 2P6.4, 1999.
[62] Pictures available at http://www.fzk.de/imt/efe1.htm#fe1 (Sept. 1999).
[63] M. Hormann, P. Kopka, and E. Voges, "All-Silicon Bistable Micromechanic
al Fiber
Switch Based on Advanced Bulk Micromachining", IEEE J. of Selected Topics in

Quantum Electronics (JSTQE) 5 (1999).
[64] M. Hormann et al., "Optical fibre switches based on fullwafer silicon m
icromachining,"
J. Micromech. Microeng. 9, 151-155 (1999).
[65] M. F. Dautartas, A. M. Benzoni, Y. C. Chen, G. E. Blonder, B. H. Johnso
n,
C. R. Paola, E. Rice, Y.-H. Wong, "A Silicon-Based Moving-Mirror Optical Swi
tch,"
Journal of Lightwave Tech. 10 (8), 1078-1085 (1992).
[66] T. Matsuura et al., "Silicon micro optical switching device with an ele
ctromagnetically
operated cantilever," 10th Int'l Conf. on Solid-State Sensors and Actuators
(Transducers99), Sendai, Japan, June 7-10, 1999.
[67] S. S. Lee, L. Y. Lin, M. C. Wu, "Surface-micromachined free-space fiber
-optic
switches," Elec. Lett. 31 (17), 1481-1482 (1995).
[68] S. S. Lee, L.-S. Huang, C.-J. Kim and M. C. Wu, "Free-Space Fiber-Optic
 Switches
Based on MEMS Vertical Torsion Mirrors," IEEE J. Lightwave Technology, Vol. 
17,
No. 1, pp. 7-13, January, 1999.
[69] R. Chen, H. Nguyen, M. C. Wu, "A low voltage micromachined optical swit
ch by
stress-induced bending," Tech. Digest of IEEE 12th Int. Conf. on Micro Elect
ro Mechanical
Systems (MEMS'99), Orland, FL, USA, Jan. 17-21, 1999, 424.
[70] M. Pai, N. C. Tien, "Current-controlled bi-directional electrothermally
 actuated vibromotor,"
10th Int'l Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers99),
Sendai, Japan, June 7-10, 1999.
[71] M. Pai, N. C. Tien, "Polysilicon Actuated Micromirror for Large Matrix 
Optical
Cross-Connects," Proc. 3rd Int'l Conf. on Micro Opto Elecro Mechanical Syste
ms
(MOEMS99), Aug. 30 - Sept. 1, 1999, Mainz, Germany, p.30.
[72] K. S. J. Pister, M. W. Judy, S. R. Burgett, R. S. Fearing, "Microfabric
ated hinges,"
Sensors and Actuators A 33, 249-256 (1992).
[73] T. Akiyama, K. Shono, "Controlled stepwise motion in polysilicon micros
tructures,"
IEEE J. Microelectromechanical Systems 2 (2), 106-110 (1993).
[74] L. Y. Lin, J. L. Shen, S. S. Lee, M. C. Wu, "Surface-Micromachined Micr
o-XYZ
Stages for Free-Space Micro-Optical Bench," Digest IEEE/LEOS 1995 Summer Top
ical
Meetings, Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 37-38.
[75] J. Mohr, M. Kohl, W. Menz, "Micro Optical Switching by Electrostatic Li
near Actuators
with Large Displacements," Proc. 7th Int. Conf. on Solid-State Sensors and
Actuators (TRANSDUCERS 93), Yokohama, Japan, Jun. 7-10 (1993), 120-123.
[76] R.A. Miller, Y.C. Tai, G. Xu, J. Bartha, and F. Lin, 1997 Transducers, 
p.89, 1997
[77] Information is available at the web sites of Surface Technology Systems

(http://www.stsystems.com/index.shtml)
and Plasma-Therm Inc. (http://www.plasmatherm.com/).
[78] C. Marxer, N. de Rooij, "Micro-Opto-Mechanical 2x2 Switch for Single-Mo
de Fibers
Based on Plasma-Etched Silicon Mirror and Electrostatic Actuation," IEEE J. 
Lightwave
Tech. 17, 2 (1999).
[79] C. Marxer, Y. Girardin, N. de Rooij, "4x4 Fiber Optic Matrix Switch bas
ed
on MOEMS," Proc. 3rd Int'l Conf. on Micro Opto Elecro Mechanical Systems
(MOEMS99), Aug. 30 - Sept. 1, 1999, Mainz, Germany, p.74-75.
[80] A. Z. Yasseen, J. N. Mitchell, J. F. Klemic, D. A. Smith, M. Mehregany,
 "A rotary
electrostatic micromotor 1x8 optical switch," IEEE J. Selected Topics in Qua
ntum
Electronics 5, 26 (1999).
[81] R.M. Boysel, T.G.McDonald, G.A.Magel, G.C.Smith,J. L. Leonard, "Integra
tion
of Deformable Mirror Devices with optical fibers and waveguides," SPIE Integ
rated
Optics and Microstructures, vol. 1793, 34-39 (1992).
[82] H. Toshiyoshi, H. Fujita, "Electrostatic Micro Torsion Mirrors for an O
ptical Switch
Matrix," IEEE J. Microelectromechanical Sys. 5 (4), 231-237 (1996).
[83] H. Toshiyoshi, D. Miyauchi, H. Fujita, "Electromagnetic Torsion Mirrors
 for Self-
Aligned Fiber Optic Cross-connectors by Silicon Micromachining," IEEE J. of 
Selected
Topics in Quantum Electronics (JSTQE) 5, pp.10-17 (1999).
[84] Mita, Helin, Toshiyoshi, Fujita, and Miyauchi, Proc. 10th Int. Conf. on
 Solid-State
Sensors and Actuators (Transducers '99), Paper 2A3.4, 1999
[85] T/ Akiyama, D. Collard, H. Fujita, "Scratch drive actuator with mechani
cal links
for self-assembly of three-dimensional MEMS," IEEE J. of Microelectromechani
cal
Systems 6, p.10-17 (1997).
[86] L. Y. Lin, E. L. Goldstein. R. W. Tkach, "Free-space micromachined opti
cal switches
with submillisecond switchingtime forlarge-scale optical crossconnects," IEE
E Photo.
Tech. Lett. 10, p.525-7 (1998).
[87] L. Y. Lin, "Micromachined free-space matrix switches with submillisecon
d switching
time for large-scale optical crossconnect," OFC '98 Optical Fiber Communicat
ion
Conference and Exhibit, San Jose, CA, USA, 22-27 Feb. 1998.
[88] Information available at http://mems.mcnc.org/mumps.html
[89] L.Y.Lin,E.L.Goldstein, R.W.Tkach,"Free-Space MicromachinedOptical Switc
hes
for Optical Networking," IEEE J. Selected Topics in Quantum Electronics 5, 4
(1999).
[90] P. M. Hagelin, U. Krishnamoorthy, C. M. Arft, J. P. Heritage, O. Solgaa
rd, "Scalable
fiberoptic switch using micromachined mirrors," 10th Int'l Conf. on Solid-St
ate
Sensors and Actuators (Transducers99), Sendai, Japan, June 7-10, 1999.
[91] T. Kanai, A. Nagayama, S. Inagaki, K. Sasakura, "Automated Optical Main

Distributing-Frame System," OFC/IOOC Tech Digest, 4 TuO5, 74-75 (1993).
[92] J. L. Jackel, J. J. Johnson, W. J. Tomlinson, "Bistable optical switchi
ng using electrochemically
generated bubbles," Optics Letters 15 (24), 1470-1472 (1990).
[93] M. Sato, "Electrocapillarity optical switch," IEICE Trans. Commun. E77-
B (2),
197-203 (1994).
[94] M.Makihara,M. Sato, F.Shimokawa,Y.Nishida,"Micromechanical Optical Swit
ches
Based on Thermocapillary Integrated in Waveguide Substrate," IEEE J. Lightwa
ve
Tech. 17, 14 (1999).
[95] K. Hogari, T. Matsumoto, "Electrostatically driven micromechanical 2x2 
optical
switch," Appl. Optics. 30 (10), 1253-1257 (1991).
[96] H. Bezzaoui, E. Voges, "Integrated optics combined with micromechanics 
on silicon,"
Sensors and Actuators A 29, 212-223 (1991).
[97] M. Hormann, H. Bezzaoui, E. Voges, "Micromechanical cantilever resonato
rs with
integrated optical interrogation," Sensors and Actuators A 44, 71-75 (1994).

[98] T. T. H. Eng, S. Y. S. Sin, S. C. Kan, G. K. L. Wong, "Micromechanical 
Optical
Switching with Voltage Control UsingSOI Movable Integrated Optical Waveguide
s,"
IEEE Photon. Tech. Lett. 7 (11), 1297-1299 (1995).
[99] E. Ollier, P. Labeye, F. Revol, "Micro-opto mechanical switch integrate
d on silicon,"
Electron. Lett. 31 (23), 2003-2005 (1995).
[100] E. Ollier, P. Labeye, F. Revol, "A micro-opto-mechanical switch integr
ated on silicon
for optical fiber network," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings,
Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 71-72.
[101] D. Kobayashi, H. Okano, H. Otsuki, K. Sato and M. Horino, "Magneticall
y Driven
Micromechanical Optical Switch", Proc. The Pacific Rim Conference on Lasers 
and
Electro-Optics (CLEO/Pacific Rim '97), July 14-18 1997, Chiba, Japan, p267.
[102] K. Sato, M. Horino, T. Akashi, N. Komatsu and D. Kobayashi, "Mechanica
l Optical
Switch of A Plane Type with Electromagnetic Actuators", Proc. The Pacific Ri
m
Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO/Pacific Rim '97), July 14-18 1
997,
Chiba, Japan, p201, (Poster presentation)
[103] M. J. F. Digonnet, H. J. Shaw, "Analysis of a Tunable Single Mode Opti
cal Fiber
Coupler," IEEE J. of Quantum Electron. EQ-18 (4), 746-754 (1982).
[104] G. A. Magel, "Integrated optic devices using micromachined metal membr
anes,"
SPIE Integrated Optics and Microstructures III, vol. 2686, 54-63 (1996).
[105] Y. W.Kim, M. G. Allen, N.F. Hartman, "Micromechanically based integrat
ed optic
modulators and switches," SPIE Integrated Optics and Microstructures, vol. 1
973,
183-189 (1992).
[106] W. Lukosz, "New Nanomechanical Integrated Optical Devices as Modulator
s,
Switches, and Microphones; Integrated Optical (Bio-)Chemical Sensors," Micro
 System
Technologies 90, ed. H. Reichl, VDE-Verlag (1990) 725-732.
[107] P. Pliska, W. Lukosz, "Electrostatically actuated integrated optical n
anomechanical
devices," SPIE Integrated Optics and Microstructures (1992), vol. 1793, 259-
272.
[108] W. Lukosz, "Integrated optical nanomechanical devices as modulators, s
witches,
and tunable frequency filters, and as acoustical sensors," SPIE Integrated O
ptics and
Microstructures (1992), vol. 1793, 214-234.
[109] F. Chollet, M. de Labachelerie, H. Fujita, "Microoptomechanical device
s: an electrostatically
actuated bending waveguide for optical coupling," European Symposium
on Lasers, Optics, and Vision for Productivity in Manufacturing I, Besan,con
, France,
June 10-14 (1996).
[110] T. Ueda, F. Kohsaka, D. Yamazaki, T. Iino, "Quartz crystal micromechan
ical devices,"
Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 85), Philadelphia,PA,
Jun. 11-14 (1985), 113-116.
[111] K. Takahata, S. Aoki, T. Sato, "Fine Surface Finishing Method for 3-Di
mensional
Micro Structures," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 96), Sa
n
Diego, California, Feb. 11-15 (1996), 73-78.
[112] K. Petroz, E. Ollier, H. Grateau, J. Bechtle, P. Labeye, P. Mottier, "
A fully integrated
micro-opto-mechanical steering device," Proc. IEEE 11th Int. Workshop on
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '98), Heidelberg, Germany, 25-29 Jan.

1998, p.105.
[113] J. E. Ford, D. J. DiGiovanni, "1xN fiber bundle scanning switch," IEEE
 Photon.
Tech. Lett. 10, 967 (1998).
[114] T. A. Dorschner, L. J. Friedman, M. Holz, D. P. Resler, R. C. Sharp, I
. W. Smith,
"An Optical Phased Array for Lasers," Proc. 1996 IEEE Int. Symp. on Phased A
rray
System and Technology, Boston, MA, Oct. 15-18, 1996, p.5-10.
[115] P. Mcmanamon, T. Dorschner, D. Corkum, L. Friedman, D. Hobbs, M. Holz,

S. Liberman, H. Nguyen, D. Resler, R. Scharp, E. Watson, "Optical Phased Arr
ay
Technology," Proc. IEEE 84, 268 (1996).
[116] R.A. Miller, G. W. Burr, Y.C.Tai,D.Psaltis, C.-M.Ho, R. R. Katti, "Ele
ctromagnetic
MEMS Scanning MirrorsforHolographic Data Storage," Solid-State Sensor and
Actuator Workshop, Hilton Head Island, South Carolina, June 2-6 (1996), 183-
186.
[117] J. W. Judy, R. S. Muller, "Batch-Fabricated, Addressable, Magnetically
 Actuated
Microstructures," Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Isla
nd,
South Carolina, June 2-6 (1996), 187-190.
[118] J. W. Judy, R. S. Muller, H. H. Zappe, "Magnetic microactuation of pol
ysilicon
flexure structures," IEEE J. Microelectromech. Sys. 4, 162 (1995).
[119] J. W. Judy, R. S. Muller, "Magnetically actuated, addressable microstr
uctures,"
IEEE J. Microelectromech. Sys. 6, 249-56 (1997).
[120] N. Asada, M. Takeuchi, "Silicon Micro-Optical Scanner," Proc. 10th Int
. Conf. on
Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '99), Sendai, Japan.
[121] H. Miyajima, N. Asaoka, M. Arima, Y. Minamoto, K. Murakami, K. Tokuda,

K. Matsumoto, "An electromagnetic optical scanner with polyimide-based hinge
s,"
Proc. 10th Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '99)
, Sendai,
Japan.
[122] L Fan, M. C. Wu, K. D. Choquette, M.H.Crawford, "Self-assembled Microa
ctuated
XYZ Stages for Optical Scanning and Alignment," Proc. Int. Conf. on Solid-St
ate
Sensors and Actuators (Transducers 97), Chicago, IL, USA, June 16-19, 1997, 
p.319.
[123] W. Piyawattanametha, L. Fan, S. S. Lee, J. G. D. Su, M. C. Wu, "MEMS T
echnology
for Optical Crosslink forMicro/Nano satellites," Int. Conf. on Integrated
Nano/Microtechnology for Space Application, Houston, Texas, Nov. 1-6, 1998.
[124] M. H. Kiang, O. Solgaard, R. S. Muller, K. Y. Lau, "High-precision sil
icon micromachined
micromirrors for laser beam scanning and positioning," Solid-State Sensor
and Actuator Workshop, Hilton Head Island, South Carolina, June 3-6(1996), 3
3-34.
[125] M.-H. Kiang, O. Solgaard, R. S. Muller, K. Y. Lau, "Surface-micromachi
ned
electrostatic-comb driven scanning micromirrors for barcode scanners," Proc.
 IEEE
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 96), San Diego, California,192-197(19
96).
[126] M. H. Kiang, O. Solgaard, K. Y. Lau, R. S. Muller, "Electrostatic Comb
drive-
Actuated Micromirrors for Laser-Beam Scanning and Positioning," IEEE J. Micr
oelectromech.
Sys. 7, 27 (1998).
[127] M. H. Kiang, O. Solgaard, R. S. Muller, K. Y. Lau, "Micromachined Poly
silicon
Microscanners for Barcode Readers," IEEE Photon. Tech. Lett. 8, 1707 (1996).

[128] D. A. Francis, M. H. Kiang, O. Solgaard, K. Y. Lau, R. S. Muller, C. J
. Chang-
Hasnain, "Compact 2D laserbeam scanner with fan laserarray and Si micromachi
ned
microscanner," Elec. Lett. 33, p.1143 (1997).
[129] M. H. Kiang, O. Solgaard, R. S. Muller, K. Y. Lau, "Silicon-Micromachi
ned Micromirrors
with Integrated High-Precision Actuators for External-Cavity Semiconductor
Lasers," IEEE Photon. Tech. Lett. 8, 95 )1996).
[130] M. H. Kiang, J. T. Nee, K. Y. Lau, R. S. Muller, "Surface-micromachine
d dirraction
gratings for scanning spectroscopic applications," 1997 Int. Conf. on Solid-
State
Sensors and Actuators (Transducers 97), Chicago, June 16-19, 1997.
[131] P. M. Hagelin, O. Solgaard, "Optical Raster-Scanning Displays Based on
 Surface-
Micromachined Polysilicon Mirrors," IEEE J. Selected Topics in Quantum Elect
ronics
5, 67 (1999).
[132] O. Solgaard, M. Daneman, N. C. Tien, A. Friedberger, R. S. Muller, K. 
Y. Lau,
"Optoelectric Packaging Using Silicon Surface-Micromachined Alignment Mirror
s,"
IEEE Photon. Tech. Lett. 7, 41 (1995).
[133] M. J. Daneman, O. Solgaard, N. C. Tien, K. Y. Lau, R. S. Muller, "Lase
r-to-Fiber
Coupling Module Using a Micromachined Alignment Mirror," IEEE Photon. Tech.
Lett. 8, 396 (1996).
[134] R. S. Muller, K. Y. Lau, "Surface-Micromachined Microoptical Elements 
and Systems,"
Proc. IEEE 86, 1705 (1998).
[135] M. Ikeda, H. Goto, M.Sakata, S. Wakabayashi, "TwoDimensional Silicon M
icromachined
Optical Scanner Integrated with Photo Detector and Piezoresisitor," The 8th
Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS 95), Stockholm,

Sweden, Jun. 25-29 (1995), vol. 1, 293-296.
[136] M. Ikeda, H. Goto, M. Sakata, S. Wakabayashi, K. Imanaka, M. Takeuchi,
 T. Yada,
"Twodimensional silicon micromachined optical scanner integrated with photod
etector,"
SPIE Micro-Optics/Micromechanics and Laser Scanning and Shaping, vol.2383,
118-124 (1995).
[137] Y. Ohtuka, H. Nishikawa, T. Koumura, T. Hattori, "2-Dimensional Optica
l Scanner
Applying aTorsional Resonatorwith 2 Degrees of Freedom," Proc. IEEE Micro El
ectro
Mechanical Systems (MEMS 95), Amsterdam, the Netherlands, Jan. 29-Feb. 2
(1995), 306-309.
[138] A. A. Yasseen, S. W. Smith, M. Mehregany, F. L. Merat, "Dirraction gra
ting scanners
using polysilicon micromotors," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(MEMS 95), Amsterdam, the Netherlands, Jan. 29-Feb. 2 (1995), 175-180.
[139] F. Merat, M.Mehregany, "Integrated micro-opto-mechanical systems," SPI
E Micro-
Optics/Micromechanics and Laser Scanning and Shaping, vol. 2383, 88-98 (1995
).
[140] M. E. Motamedi, "Micro-opto-electro-mechanical systems," Opt. Eng. 33,
 3505
(1994).
[141] M. E. Motamedi, A. P. Andrews, W. J. Gunning, M. Khoshnevisan, "Miniat
urized
micro-optical scanners," Opt. Eng. 33, 3616 (1994).
[142] M. E. Motamedi, M. C. Wu, K. S. J. Pister, "Micro-opto-electro-mechani
cal devices
and on-chip optical processing," Opt. Eng. 36, 1282 (1997).
[143] M.E.Motamedi, P.Sangtae A.Wang, M.Dadkhah, A.P.Andrews, H.O.Marcy,
M.Khoshnevisan, A.E.Chiou, R.J.Huhn, C.F.Sell, J.G.Smits,"Development of mic
roelectro-
mechanical optical scanner," Opt. Eng. 36, 1346-53 (1997).
[144] M.Motamedi, S.Park, R.Melendes, A.Wang, A.P.Andrews, D.Garcia-Nunez,
D.Jinar, P.D.Richardson, J.Studer, J.Chen, J.DeNatale, J.A.Moranski, "MOEM s
can
engine for bar code reading and factory automation," Proc. SPIE 3276, Miniat
urized
Systems with Micro-Optics and Micromechanics III, San Jose, CA, USA, 26-27 J
an.
1998, p.66-80
[145] S. Gl"ockner, R. G"oring, T. Possner, "Micro-opto-mechanical beam defl
ectors," Opt.
Eng 36, 1339 (1997).
[146] R. G"oring, D.D"oring, P. B"ucker, B. G"otz, P. Schreiber, P. Danberg,
 E.-B. Kley,
M. Cumme, "Microoptical concepts for miniaturized scanners and switches - fr
om
design to realization -," Proc. 3rd Int. Conf. on Micro Opto Electro Mechani
cal Systems
(MOEMS 99), Mainz, Germany, 1999, p.76.
[147] R.G"oring, S.Gl"ockner, F.Blhrisch, "Miniaturized optical switches bas
ed on piezoelectrically
driven microprism arrays," Proc. SPIE 2687, 23 (1996).
[148] A. T. T. D. Tran, G. L. Christenson, Z. H. Zhu, D. Haronian, Y.-H. Lo,
 "Micromachined
Micro-optic and Optoelectronic Devices," contributed chapter to Yu-Hwa Lo
"Emerging Optoelectronic Technologies and Applications" (World Scientific, S
ingapore,
1997).
[149] L. Fan, M.C.Wu, "Two-dimensional optical scanner with large angular ro
tation realized
by self-assembled micro-elevator," Digest 1998 IEEE/LEOS Summer Topical
Meeting, Monterey, CA, USA, 20-24 July 1998, p.254.
[150] C.-H. Kim, Y.-K.Kim," Integration of amicro lenson a2-DOF in-plane pos
itioning
actuator, " Proc. 3rd Int. Conf. on Micro Opto Electro Mechanical Systems (M
OEMS
99), Mainz, Germany, 1999, p.171.
[151] H. Toshiyoshi, J. G.-D. Su, J. LaCosse, M. C. Wu, "Micromechanical Len
s Scanners
for Fiber Optic Switches," Proc. 3rd Int. Conf. on Micro Opto Electro Mechan
ical
Systems (MOEMS 99), Mainz, Germany, 1999, p.165.
[152] O. Tabata, R. Asahi, N. Fujitsuka, M. Kimura, S. Sugiyama, "Electrosta
tic driven
optical chopper using SOI wafer," Tech. Digest 7th Int. Conf. on Solid-State
 Sensors
and Actuators (TRANSDUCERS 93), Yokohama, Japan, Jun. 7-10 (1993), 124-127.
[153] V. P. Jaecklin, C. Linder, N. F. de Rooij, J.-M. Moret, R. Vuilleumier
, "Optical
microshutters and torsional micromirrors for light modulator arrays," Proc. 
IEEE
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 93), Fort Lauderdale, Florida, Feb. 7
-10
(1993), 124-127.
[154] E. Obermeier, J. Lin, V. Schlichting, "Design and fabrication of an el
ectrostatically
drive micro-shutter," Tech.Digest 7th Int. Conf. on Solid-State Sensors andA
ctuators
(TRANSDUCERS 93), Yokohama, Japan, Jun. 7-10 (1993), 132-135.
[155] H. Toshiyoshi, H. Fujita, T. Ueda, "A Piezoelectrically Operated Optic
al Chopper
by Quartz Micromachining," Journal of Microelectromechanical Systems 4 (1), 
3-9,
(1995).
[156] H. Toshiyoshi, D. Kobayashi, H. Fujita, T. Ueda, "A Piezoelectric Quar
tz Microactuator
for a Large Pseudo-Static Displacement," Jpn. J. Appl. Phys. 33, part. 2,
no. 12B, L1806-L1808 (1994).
[157] R.Vuilleumier,K. Kraiczek, "Variable entrance slit system for precisio
n spectrophotometers,"
Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 95), Amsterdam,
the Netherlands, Jan. 29-Feb. 2 (1995), 181-185.
[158] O. Shinchi, H. Hayashida, "Digital Micromirror Device (DMD)TM," Tech. 
Digest
9th Meeting of JSPS Committee No. 136, 2nd Division on Future Machining Tech
nologies,
Tokyo, Japan, May 21 (1996), pp.5-10. (in Japanese)
[159] G. Vdovin, S. Middelhoek, "Deformable Mirror Display with Continuous R
eflecting
Surface Micromachined in Silicon," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Syste
ms
(MEMS 95), Amsterdam, the Netherlands, Jan. 29-Feb. 2 (1995), 61-65.
[160] Y. Huang, H. Zhang, E. S. Kim, "Piezoelectrically Actuated Microcantil
ever for
Actuated Mirror Array Application," Solid-State Sensor and Actuator Workshop
,
Hilton Head, South Carolina, June 2-6 (1996), 191-195.
[161] G. Hashiguchi, H. Mimura, H. Fujita, "Monolithic Fabrication and Elect
rical Characteristics
of Polycrystalline Silicon Field Emitters and Thin Film Transistor," Jpn.
J. Appl. Phys. 35 (1996) L84.
[162] Y. Saito, S. Uemura, K. Hamaguchi, "Cathode Ray Tube Lighting Elements
 with
Carbon Nanotube Field Emitters," Jpn.J.Appl.phys. 37 (1998) pp.L346-L348.
[163] S. Akamine, T. R. Albrecht M. J. Zdeblick, C. F. Quate, "A Planar Proc
ess for Microfabrication
of Integrated ScanningTunnelingMicroscopes," Sensors and Actuators
A21-A23, 964-970 (1990).
[164] S. Akamine, H. Kuwano, K. Fukuzawa, "Development of a microphotocantil
ever
for near-field scanning optical microscopy," Proc. IEEE Micro Electro Mechan
ical
Systems (MEMS 95), Amsterdam, The Netherlands, Jan. 29-Feb. 2 (1995), 145-14
8.
[165] Phan Ngoc Minh, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, "A NOVEL FABRICATION
METHOD OF THE TINY APERTURE TIP ON SILICON CANTILEVER FOR
NEAR FIELD SCANNING OPTICAL MICROSCOPY", IEEE Micro Electro Mechanical
Systems Technical Digest 1999, pp.360-365
[166] Motoichi Ohtsu, Kazuo Tsutsui, Motonobu Kourogi, and Myung-Bok Lee, "N
ear
Field Optics and Its Application to Optical Memory", Trans.Inst.Electronics,
 Information
and Communication Engin. C-1 Vol.J81-C-1 No.3(1998), pp.119-126
[167] R. Sawada, H. Tanaka, O. Ohguchi, J. Shimada, S. Hara, "Fabrication of
 Active
Integrated Optical Micro-Encoder," Proc. 4th IEEE Workshop on Micro Electro 
Mechanical
Systems (MEMS 91), Nara, Japan, Jan. 30-Feb. 2 (1991), 233-238.
[168] R. Sawada, "Integrated Optical Encoder," Proc. 8th Int. Conf. on Solid
-State Sensors
& Actuators (TRANSDUCERS 95), Stockholm, Sweden, Jun. 25-29 (1995),
vol. 1, 281-284.
[169] Takahiro Ito, Renshi Sawada, and Eiji Higurashi, "Integrated Microlase
r Doppler
Velocimeter",Journal of LIGHTWAVE TECHNOLOGY,Vol.17, No.1,January1999,
pp.30-34
[170] H. Miyajima, E. Yamamoto, M. Ito, S. Hashimoto, I. Komazaki, "Optical 
micro
encoder using surface-emitting laser," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical S
ystems
(MEMS 96), San Diego, California, Feb. 11-15 (1996), 412-417.
[171] H. P. Zappe, D. Hofstetter, "A Monolithic Optical Displacement Measure
ment Microsystem,"
Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 96), San Diego,
California, Feb. 11-15 (1996), 400-405.
[172] H.P. Zappe,D.Hofstetter, B.Maisenh"older,"Monolithic Optical Interfero
meters for
MEMS Applications," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetings,Keystone,
Colorado, Aug. 5-9 (1996), 35-36.
[173] L.-S. Fan, S. Woodman, "Batch fabrication of mechanical platform for h
igh density
data storage," Proc. 8th Int. Conf. on Solid-State Sensors & Actuators (TRAN
SDUCERS
95), Stockholm, Sweden, June 25-29 (1995), vol. 1, 434-437.
[174] W. Tang, V. Temesvary, J. J. Yao, Y.-C. Tai, D. K. Miu, "Silicon Micro
actuators
for Computer Disk Dives," Jpn. J. Appl. Phys. 35, part 1, no. 1B, 350-356 (1
996).
[175] N. J. Mourlas, K. C. Stark, M. Mehregany, S. M. Philips, "Exploring po
lysilicon
micromotors for data storage micro disks," Proc. IEEE Micro Electro Mechanic
al
Systems (MEMS 96), San Diego, California, Feb. 11-15 (1996), 198-203.
[176] W. Ehrfeld, "The LIGA process for microsystems," Micro System Technolo
gies 90,
ed. H. Reichl, VDE-Verlag (1990) 521-528.
[177] P. Ziegler, J. Wengelink, and J. Mohr, "Passive Alignment and Hybrid I
ntegration
of Active and Passive optical Components on a Microoptical LIGA-Bench," Proc
eedings
3rd International Conference on Micro Opto Electro Mechanical Systems (1999)
,
pp.186-189
[178] H. Debeda, T. V. Freyhold, J. Mohr, U. Wallrabe, J. Wengelink, "Develo
pment of
Miniaturrized Piezoelectric Actuators for Optical Applications Realized Usin
g LIGA
Technology," Journal of Microelectromechanical Systems, Vol.8. No.3. Septemb
er
1999, pp.258-263
[179] W. Menz, W. Bacher, M. Hermening, A. Michel,"The LIGA Technique - a No
vel
Concept for Microstructures and the Combination with Si-Technologies by Inje
ction
Molding," Proc. 4th IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
(MEMS 91), Nara, Japan, Jan. 30-Feb. 2 (1991), 69-73.
[180] H. Guckel, K. J. Skrobis, T. R. Christenson, J. Klein, S. Han, B. Choi
, E. G. Lovell,
"Fabrications of Assembled Micromechanical Components via Deep X-ray Lithogr
aphy,"
Proc. 4th IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 91),
Nara, Japan, Jan. 30-Feb. 2 (1991), 74-79.
[181] M. Despont, H. Lorenz, N. Fahrni, J. Brugger, P. Renaud and P. Vettige
r, "High-
Aspect-Ratio, Ultrathick, Negative-Tone Near-UV Photoresist for MEMS Applica
tions,"
Proc. IEEE The Tenth Annual International Workshop on Micro Electro Mechanic
al
Systems (1997), pp.518-522
[182] M. Gerner, T. Paatzsch, L. Weber, H. Schift, I. Smaglinski, H.-D. Baue
r, M. Abraham,
W.Ehrfeld, "Micro-optical ComponentsforFiberand Integrated Opticsrealized
by the LIGA Technique," Proc. IEEE MicroElectro Mechanical Systems (MEMS 95)
,
Amsterdam, The Netherlands, Jan.29-Feb.2 (1995), 328-333.
[183] R. Yeh, E. J. J. Kruglick, K. S. J. Pister, "Surface-Micromachined Com
ponents
for Articulated Microrobots," IEEE J. Microelectromechanical Systems 5 (1), 
10-17
(1996).
[184] K. Suzuki, I. Shimoyama, H. Miura, Y. Ezura, "Creation of an Insect-Ba
sed Microrobot
with an External Skeleton and Elastic Joint," Proc. 5th IEEE Workshop
on Micro Electro Mechanical Systems, Travem"unde, Germany, February 4-7 (199
2),
190-195.
[185] Y. Fukuta, T. Akiyama, H. Fujita, "A Reshaping Technology with Joule H
eat for
Three Dimensional Silicon Structures," The 8th Int. Conf. on Solid-State Sen
sors
and Actuators (TRANSDUCERS 95), Stockholm, Sweden, Vol. 1, June 25-29 (1995)
,
174-177.
[186] M.C.Wu, L. Y.Lin, S.S.Lee, K. S.J.Pister, "Micromachined free-space in
tegrated
micro-optics," Sensors and Actuators A 50, 127-134 (1995).
[187] L. Y. Lin, S. S. Lee, K. S. J. Pister, M. C. Wu, "Three dimensional mi
cro-Fresnel
optical elements fabricated by micromachining technique," Electron. Lett. 30
 (5),
448-449 (1994).
[188] S. S. Lee, L. Y. Lin, K. S. J. Pister, M. C. Wu, H. C. Lee, P. Grodzin
ski, "Passively
Aligned Hybrid Integration of 8x1 Micromachined Micro-Fresnel Lens Arrays an
d
8x1 Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser Arrays for Free-Space Optical Int
erconnect,"
IEEE Photon. Tech. Lett. 7 (9), 1031-1033 (1995).
[189] L. Y. Lin, S. S.Lee, K.S. J. Pister, M.C.Wu, "Micro-Machined Three-Dim
ensional
Micro-Optics for Integrated Free-Space Optical System," IEEE Photon. Tech. L
ett.
6 (12), 1445-1447 (1994).
[190] S. S. Lee, L. Y. Lin, M. C. Wu, "Surface-micromachined free-space micr
o-optical
systemscontainingthree-dimensional microgratings," Appl. Phys. Lett. 67 (15)
, 2135-
2137, (1995).
[191] L. Y. Lin, J. S. Shen, M. C. Wu, A. M. Sergent, "Tunable Three-Dimensi
onal Solid
Fabry-Perot Etalons Fabricated by Surface-Micromachining," IEEE Photon. Tech
.
Lett. 8 (1), 101-103 (1996).
[192] J.G.D.Su, J. Duparr'e,L.Fan, P. K.C.Wang, M.C.Wu, "MIcromachined Tip-T
ilt
Micromirror Arrays with large Strokes," Proc. 3rd Int. Conf. on Micro Opto E
lectro
Mechanical Systems (MOEMS 99), Mainz, Germany, 1999, p.39.
[193] D. S. Gunawan, L. Y. Lin, K. S. J. Pister, "Micromachined corner cube 
reflectors
as a communication link," Sensors and Actuators A 46-47, 580-583 (1995).
[194] M. J. Daneman, N. C. Tien, O. Solgaard, K. Y. Lau, R. S. Muller, "Line
r
Vibromotor-actuated Micromachined Microreflector for Integrated optical Syst
ems,"
Solid-State Sensor and Actuator Workshop,Hilton Head Island,South Carolina, 
June
2-6 (1996), 109-112.
[195] J. H. Comtois, V. M. Bright, "Surface micromachined polysilicon therma
l actuator
arrays and applications," Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton H
ead
Island, South Carolina, June 3-6 (1996), 174-177.
[196] J. R. Reid, V.M. Bright, J. H. Comtois, "A Surface Micromachined Rotat
ing Micro-
Mirror Normal to the Substrate," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meetin
gs,
Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 39-40.
[197] T. Akiyama, D. Collard, H. Fujita, "Scratch Drive Actuator with mechan
ical links
for self-assembling of three dimensional MEMS," IEEE Journal of Microelectro
mechanical
Systems 6(1), 10-17 (1997).
[198] M. Oikawa, K. Iga, T. Sanada, "A distributed-index planar micro-lens m
ade of
plastics," Jpn. J. Appl. Phys. 20, L51-L54 (1981).
[199] H. Sugiyama, M. Kato, S. Misawa, K. Iga, "Fabrication of Planar Microl
ens by
Transverse Electromigration Method," Jpn. J. Appl. Phys. 25 (12),1959-1960(1
986).
[200] M. Oikawa, K. Iga, T. Sanada, "Distributed-index planar microlens arra
y prepared
from deep electromigration," Electron. Lett. 17 (13), 452-454 (1981).
[201] J. S. Swenson, Jr. M. Abraham, R. A. Fields, "Fabrication of f/0.7 GaP
 Microlens
Arraysby Accelerated Mass-Transport Smoothingin Sealed Ampoules," SPIE Micro
-
Optics/Micromechanics and Laser Scanning and Shaping, vol. 2383 318-327 (199
5).
[202] Z. L. Liau, "Mass-transport fabrication of large-numerical-aperture mi
croopitcs,"
SPIE Micro-Optics/Micromechanics and Laser Scanning and Shaping, vol.2383 31
0-
317 (1995).
[203] H. Sankur, E. Motamedi, R.Hall, W. J. Gunning, M. Khoshnevisan, "Fabri
cation of
refractive microlens array," SPIE Micro-Optics/Micromechanics and Laser Scan
ning
and Shaping, vol. 2383, 179-183 (1995).
[204] S. Shirai,T.Serikawa, "Optical Design for Large Scale Free-Space Optic
al Switching
Modules," IEICE Trans. J78-C-I (5), 231-237 (1995, in Japanese).
[205] E. Pawlowski, W. F"urst, B. Kuhlow, "Micro-optical elements with high 
e馽iency
foroptical interconnects," Micro System Technologies 94 (ed.H.Reichl,A.Heube
rger),
VDE-Verlag GmbH (1996), 1087-1096.
[206] U. K"ohler, A. E. Guber, W. Bier, M. Heckle, "Fabrication of microlens
es by plasmaless
isotropic etching combined with plastic moulding," Sensors and Actuators A 5
3,
361-363 (1996).
[207] W. Karthe, R. G"orring, A. Brauer, E. B. Kley, Ch. Wachter, P. Dannber
g, T. Possner,
"Micro- and integrated optical devices in glasses and polymers for hybrid in
tegration
into microsystems," Microsystem Technologies 1, Springer-Verlag, (1995),
59-67.
[208] D. L. MacFarlane, V. Narayan, J. A. Tatum, W. R. Cox, T. Chen, D. J. H
ayes,
"Microjet Fabrication of Microlens Array," IEEE Photon. Tech. Lett. 6 (9), 1
112-
1114 (1994).
[209] M. Hisanaga, T. Koumura, T. Hattori, "Fabrication of 3-dimensionally s
haped Si
diaphragm dynamic focusing mirror," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Syst
ems
(MEMS 93), Fort Lauderdale, Feb. 7-10(1993), 30-35.
[210] H. Goto, S. Wakabayashi, M. Ikeda, M. Sakata, K. Imanaka, M. Takeuchi,
 T. Yada,
"Microfocusing optical device using piezoelectric thin film actuator," SPIE 
Micro-
Optics/Micromechanics and Laser Scanning and Shaping, vol.2383, 136-143 (199
5).
[211] O. Solgaard, M. Daneman, N. C. Tien, A. Friedberger, R. S. Muller, K. 
Y. Lau,
"Optoelectronic PackagingUsingSilicon Surface-Micromachined AlignmentMirrors
,"
IEEE Photon. Tech. Lett. 7 (1), 41-43 (1995).
[212] Y. H. Lo, A. T. T. D. Tran, Z. H. Zhu, G. L. Christenson, "Integrated 
Micro-
Optical Interferometer Arrays," Digest IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meeting
s,
Keystone, Colorado, Aug. 5-9 (1996), 25-26.
[213] N. F. Raley, D. R. Ciarlo, J. C. Koo, B. Beiriger, J. Trujillo, C. Yu,
 G. Loomis,
R. Chow, "A Fabry-Perot microinterferometer for visible wavelengths," Tech. 
Digest
IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head, 170-173 (1992),
[214] T. Ge醤er,W. D"ozel, D. Billep, R. Harn, C. Kaufmann, S.Kurth, "Design
, Technology
and Characterization of a mirror-array in silicon-micromechanics," Micro Sys
tem
Technologies 96 (ed. H.Reichl, A.Heuberger), VDE-VERLAG GmbH (1996), 657-662
.
[215] J. B"uhler, J. Funk, O. Paul, F.-P. Stiener, H. Baltes, "Thermally act
uated CMOS
micromirrors," Sensors and Actuators A 46-47, 572-575 (1995).
[216] M. Ross, K. S. J. Pister, "Micro-windmill for optical scanning and flo
w measurement,"
Sensors and Actuators A 46-47, 576-579 (1995).
[217] D. Collard, T. Akiyama, Y. Fukuta, D. Chauvel, H. Fujita, "Integrated 
Motion
System for Optical Device Alignment and Assembling of Micro-Parts," Proc. 3r
d
France-Japan Cong. & 1st Europe-Asia Cong. on Mechatronics, Besan,con, Franc
e,
Oct.1-3 (1996), 589-593.
[218] H.-J. J. Yeh, J. S. Smith, "Fluidic Self-Assembly for the Integration 
of GaAs Light-
Emitting Diodes on Si Substrate," IEEE Photon. Tech. Lett. 6 (6), 706-708 (1
994).
[219] S. H. Kravitz, J. C. Word, T. M. Bauer, P. K. Seigal, M. G. Armendariz
, "CLASP
(Capture and Locking Alignment Spring Positioner) - A Micromachined fiber au
to
positioning device," SPIE Smart Structures and Materials 1996: Smart Electro
nics
and MEMS, vol. 2722, 2-10 (1996).
[220] B. Hillerrich, "Application of Micromachining and Micromechanics to Co
mponents
for Optical Communication," Micro System Technologies 90 (ed. H.Reichl,
A.Heuberger), VDE-Verlag (1990), 457-464.
[221] G. Nakagawa, K. Miura, K. Tanaka, M. Yano, "Multichannel Fiber Ferrule
 for a
Stable Laser-Diode Array Module," IEEE Photon. Tech. Lett. 7 (4), 409-411 (1
995).
[222] R. L. Smith, S. D. Collins, "A Wafer-to-wafer Alignment Technique," Se
nsors and
Actuators 20, 315-316 (1989).
[223] B. Acklin, J. Bellermann, M. Schienle, L. Stoll. M. Honsberg, G. M"ull
er, "Self-
Aligned Packagingof an Optical Switch Arraywith Integrated Tapers," IEEE Pho
ton.
Tech. Lett. 7 (4), 406-408 (1995).
[224] W. Konz, Ch. Vogel, "Micro Optic Components on Silicon Platform with E
tched
Micromechanical AdjustingElements," MICRO SYSTEM Technologies 92,ed. H. Reic
hl,
VDE-Verlag (1992), 309-312.
[225] M.J.Daneman, N.C.Tien,O.Solgaard, A.P.Pisano, K.Y.Lau,R.S.Muller,"Line
ar
microvibromotor for positioning optical components," Proc. IEEE Micro Electr
o
Mechanical Systems (MEMS 95), Amsterdam, The Netherlands,Jan.29-Feb.2(1995),

55-60.
[226] Y. Kikuya, M. Hirano, K. Koyabu, F. Ohira, "Micro alignment machine fo
r optical
coupling," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 93), Fort Laude
rdale,
Feb. 7-10 (1993), 36-41.
[227] S. T. Wilkinson, T. W. Kim, N. M. Jokerst, M. G. Allen, "Integration o
f Thin
Film Optoelectronic Devices onto Micromachined Movable Platforms," IEEE Phot
on.
Tech. Lett. 6 (9), 1115-1118 (1994).
[228] J. F. Ewen, K. P. Jackson, R. J. S. Bates, E. B. Flint, "GaAs Fiber-Op
tic Modules
for Optical Data Processing Network," J. Lightwave Tech. 9 (12), 1755-1763 (
1991)
[229] J. W. Parker, "Optical Interconnection for Advanced Processor Systems:
 A Review
of the ESPRIT II OLIVES Program," J. Lightwave Tech. 9 (12), 1764-1773 (1991
).
[230] D. Uttamchandani, D. Liang, B. Culshaw, "A micromachined silicon accel
erometer
with fibre optic interrogation," SPIE Integrated Optics and Microstructures,
 vol.1793,
27-33 (1992).
[231] B. Culshaw, "Fibre optic sensor: integration with micromachined device
s," Sensors
and Actuators A 46-47, 463-469 (1995).
[232] J. Marty, A.Malki, C.Renouf, P.Lecoy F. Baillier, "Fibre-optic acceler
ometer using
silicon micromachining techniques," Sensors and Actuators A 46-47, 470-473 (
1995).
[233] A. M'endez, T. F. Morse, "Micromachined Fabry-Perot Interferometer wit
h Corrugated
Silicon Diaphragm for Fiber Optic Sensing Applications," SPIE Integrated
Optics and Microstructures, vol. 1793, 170-182 (1992).
[234] M. A. Chan, S. D. Collins, R. L. Smith, "A micromachined pressure sens
or with
fiber-optic interferometric readout," Sensors and Actuators A 43, 196-201 (1
994).
[235] M. Ohkawa, M. Izutsu, T. Sueta, "Integrated optic pressure sensor on s
ilicon substrate,"
Applied Optics 28 (23), 5153-5157 (1989).
--
               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: 218.9.121.63]